保利协鑫在2012年实现千吨级中试，2016年收购美国SUNEDISON(原MEMC)的硅烷流化床技术专利，2021年在江苏徐州实现万吨级量产，现在已经投产(1+2)共3万吨产线，在建3万吨投产计划是今年三季度，四川乐山建设中的10万吨预计三季度投产，内蒙包头的10万吨按进度会在今年底前投产。到年底的总产能是26万吨。公司披露今年的颗粒硅产量预测是7万吨左右。
陕西天宏瑞科的2万吨是陕西有色和挪威REC合资项目，2021年形成1.8万吨颗粒硅和一部分硅烷气供应能力。天宏瑞科一季度已经起动8万吨扩产设计，工期18个月，沿用一期的技术方案，股权结构有变化，在陕西有色和REC之外会引入战略投资。
颗粒硅技术主要是2000年代由REC在美国基地获得突破，实现了1.8万吨的量产，到2010年代，中国对美多晶硅“双反”之后，美国多晶硅出口受阻，也由于2010年代中国多晶硅在规模、成本和品质方面崛起，REC颗粒硅停产，转向寻求中国合资建厂。有了2020年代陕西天宏瑞科合计10万吨的延续。
另外韩华已经完成对REC的收购，宣布要重启美国的1.8万吨装置，计划2023年复产。行业内的看法是，从当年出货的品质和成本管控看，这个装置要重启必须重大改造。
MEMC的颗粒硅技术走过多元化路线，有过利用化肥厂的副产物生成氟化硅，还原生产颗粒硅或棒状硅，小型的百吨级装置，依赖化肥厂的副产物处理，无法规模化量产。国内有企业在2008年采纳这种工艺启动千吨级项目建设，没有成功。MEMC另在美国运行百吨级硅烷流化床装置，后于2010年代韩国企业引进建设千吨级项目没有成功。
目前中来宣布10万吨多晶硅项目，在太原西边古交县，确认一期1万吨，采用硅烷流化床技术，从相关披露看，很可能是内蒙古兴洋科技有限公司的团队，这家公司位于内蒙古鄂尔多斯准格尔旗的一个工业区。2014年筹备，完成过千吨中试线，去年以来在招聘硅烷制备和流化床方面人才。
目前国内做硅烷流化床有专利的主要是原来的浙江中宁硅业，2012年前后做出过硅烷，但没有量产颗粒硅，后来破产被多氟多收购，生产硅烷气。还有原来的光伏设备商浙江精功科技，号称有硅烷流化床工艺包，但没有实现项目量产业绩。
